Navn:
12-tommers kvarts klokkeglass
Funksjon og anvendelse:
Den 12-tommers kvarts-klokkeglasset fungerer som en kjernekomponent i høytemperatur-epitaksialt utstyr. Den utfører nøkkelfunksjoner som å tette reaksjonskammeret, tåle ekstrem termisk belastning, og optimalisere termisk felt og gassstrømsdesign. Det brukes i epitaksiale vekstprosesser, som er høytemperaturprosesser.
Ytelseskrav:
Høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, utmerket termisk stabilitet og lavt innhold av urenheter.
Nr. 5177 Qianghua West Road, Dongqian-gaten, Nanxun-distriktet, Huzhou by, Zhejiang-provinsen
+86-572-3032373
+86-572-3033016
DenKvartsklokkeglasser essensielle komponenter designet for høytemperatur-halvleder- og solcelleprosesseringssystemer som krever større wafer-kapasiteter. Produsert av høyrenhet smeltet kvarts, gir disse klokkeglassene enestående motstand mot termisk sjokk, kjemisk inerthet og mekanisk styrke.
Deres utvidede diameter muliggjør effektiv behandling av større wafere eller økte batchstørrelser, samtidig som presis dimensjonskontroll og glatte indre overflater opprettholdes for jevn gassstrøm og temperaturfordeling. Disse rørene utmerker seg innen diffusjon, oksidasjon, LPCVD og annealing, og sikrer konsistente prosessresultater og høye utbytter av enheten.
Et kvartsklokkeglass er et høyrenhets, transparent kvartsdeksel som brukes i laboratorier og halvlederapplikasjoner. Hovedfunksjonen er å omslutte og beskytte skjøre wafers eller materialer under lavtemperaturprosesser, som fotolitografi eller vakuumeksperimenter. Laget av kjemisk inert kvarts, motstår den forurensning og opprettholder optisk klarhet, noe som sikrer presis prosesskontroll. Kvartsklokkeglass plasseres vanligvis over oblater eller eksperimentelle oppsett for å skape et kontrollert miljø, beskytte mot støv eller fuktighet, og tillate observasjon av prosessen gjennom de klare veggene.
Viktige punkter å ta opp: