Navn:
12-tommers Quartz Supper Dome
Funksjon og anvendelse:
Kvarts-kuppelen fungerer som en kjernekomponent i reaksjonskammeret, og utfører kritiske funksjoner som vakuum-/gassisolasjon, motstand mot termisk deformasjon, jevn varmestråling og prosessgassstyring (via den sentrale transparente bueflaten). Det brukes i epitaksiale vekstprosesser, som er høytemperaturprosesser.
Ytelseskrav:
Høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, utmerket termisk stabilitet, OP-ugjennomsiktig materiale og lavt urenhetsinnhold.
Nr. 5177 Qianghua West Road, Dongqian-gaten, Nanxun-distriktet, Huzhou by, Zhejiang-provinsen
+86-572-3032373
+86-572-3033016
DenKvarts-kvelds-kupler er presisjonsproduserte komponenter som brukes i halvleder- og fotovoltaiske produksjonsprosesser som krever ultrarene, glatte overflater. Laget av høyrenhet smeltet kvarts, gjennomgår disse platene avanserte poleringsteknikker for å oppnå overlegen overflateflathet og optisk klarhet.
Deres eksepsjonelle kjemiske inerthet og termiske stabilitet gjør dem ideelle for bruk i høytemperaturmiljøer, som i diffusjons-, oksidasjons- og CVD-reaktorer. Den polerte overflaten minimerer partikkeladhesjon og forurensning, noe som gir høy utbytte og prosesskonsistens.
Kvarts-supper kupler er essensielle komponenter i veksten av halvlederens epitaksiale lag, og gir et stabilt og høyrent miljø for waferprosessering. Deres presisjonsutformede struktur sikrer jevn termisk fordeling over waferens overflate, noe som er avgjørende for å oppnå jevn epitaksial lagtykkelse og høykvalitets krystallvekst.
Laget av høy-renhet smeltet kvarts, tilbyr toppkupler utmerket motstand mot høye temperaturer og kjemisk korrosjon, noe som minimerer forurensning og sikrer langsiktig pålitelighet i høytemperatur epitaksiale ovner. Ved å opprettholde en kontrollert atmosfære og beskytte wafere mot direkte termisk stråling, forbedrer kvarts-supper kupler prosessens ensartethet, øker waferutbytte og reduserer defekter.
Disse komponentene brukes mye i halvlederproduksjon, forskning og utvikling, samt avansert epitaksialt utstyr. Skreddersydde design er tilgjengelige for å matche spesifikke ovnstørrelser og prosesskrav, noe som gjør kvarts-supper domer til et nøkkelelement i moderne waferproduksjon.