DenHorisontal kvartsbåt er spesiallaget for sikker og presis håndtering av skiver i horisontale ovnsystemer, og brukes mye til oksidasjons-, diffusjons- og annealing-prosesser i produksjon av 200 mm halvlederwafer. Laget av høy-renhet smeltet kvarts, gir den enestående termisk stabilitet, korrosjonsbestandighet og dimensjonsnøyaktighet.

Den horisontale utformingen sikrer jevn justering og avstand mellom waferene langs ovnrørsaksen, noe som muliggjør optimalisert gassstrømsdynamikk og jevn termisk behandling på hver wafer. Den stive, lavforurensningsstrukturen minimerer deformasjon under høye temperaturer, noe som bidrar til å opprettholde prosessens integritet og reduserer partikkeldannelsen.

Bruk av horisontale kvartsbåter i diffusjon, oksidasjon og CVD-applikasjoner

Horisontale kvartsbåter er essensielle verktøy i halvlederproduksjon, designet for å trygt holde og transportere wafers under høytemperaturprosesser som diffusjon, oksidasjon og CVD-avsetning. Laget av høy-renhet smeltet kvarts, sikrer disse båtene minimal forurensning, samtidig som de opprettholder integriteten til sensitive wafere gjennom hele prosessen.

Den horisontale orienteringen gjør at wafere ligger flate, noe som fremmer jevn varmefordeling og jevn eksponering for prosessgasser. Dette designet bidrar til å redusere temperaturgradienter, sikrer jevn doping eller oksidasjon, og forbedrer det totale utbyttet i prosessen. Glatte, lavurenhetsoverflater minimerer partikkeldannelsen, støtter renromsstandarder og beskytter skjøre skiveoverflater.

Holdbare og termisk stabile, høykvalitets horisontale kvartsbåter tåler gjentatte termiske sykluser uten å vri seg eller sprekke. Ved å velge riktig horisontal kvartsbåt kan halvlederfabrikker og forskningsfasiliteter optimalisere waferens ensartethet, maksimere gjennomstrømningen og opprettholde streng prosesskontroll i diffusjons-, oksidasjons- og CVD-applikasjoner.