Navn:
8-tommers OP Quartz Ring
Funksjon og anvendelse:
Fungerer som en beskyttende komponent for å forhindre ulike forurensninger under etsningsprosessen, og sikrer forsegling og beskyttelse av kammeret. Det brukes i skiveproduksjon av etsningsprosesser, som er lavtemperaturprosesser.
Ytelseskrav:
Høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, utmerket termisk stabilitet og lavt innhold av urenheter.
Nr. 5177 Qianghua West Road, Dongqian-gaten, Nanxun-distriktet, Huzhou by, Zhejiang-provinsen
+86-572-3032373
+86-572-3033016
DenOP Quartz Ring er en høypresisjonskomponent laget av ultraren smeltet silika, designet for å gi pålitelig støtte, tetning eller avstand i halvleder- og fotovoltaiske prosesseringssystemer. Kjent for sin eksepsjonelle termiske stabilitet, lave termiske ekspansjon og fremragende kjemiske motstand, tåler denne ringen tøffe prosesseringsmiljøer og gjentatt termisk syklus.
Dens presise dimensjoner sikrer optimal tilpasning og justering i ovnsmonteringer, og bidrar til jevn gassstrøm og temperaturkontroll under prosesser som CVD, diffusjon og avglødning. Den smeltede silikaglassringen bidrar til å opprettholde et miljø fritt for forurensning, noe som er avgjørende for å oppnå jevn waferkvalitet og høye prosessutbytter.
OP (ugjennomsiktige) kvartsringer er spesialiserte komponenter designet for høytemperatur-halvlederprosesser hvor termisk isolasjon og reduserte strålingseffekter er kritiske. Sammenlignet med standard kvartsringer tilbyr OP Quartz Rings høyere opasitet, bedre termisk skjerming og lavere lystransmissie, noe som bidrar til å opprettholde stabile ovnsforhold og minimere skiveforurensning.
Standard kvartsringer, selv om de er kjemisk rene og termisk stabile, overfører mer termisk stråling og egner seg bedre til generelle applikasjoner hvor isolasjon er mindre kritisk. Valget mellom OP- og standard kvartsringer avhenger av prosesskrav, ovnsdesign og behovet for termisk ensartethet og waferbeskyttelse.
Hovedpunkter: