Høy-renhet kvarts strømningsutjevningsbafflerer presisjonskonstruerte komponenter designet for å regulere og stabilisere flyten av prosessgasser under høytemperatur-halvlederproduksjonstrinn som diffusjon, oksidasjon og CVD-deponering. Disse bafflene er installert i ovnssystemet og leder og fordeler gassen jevnt over skiveoverflaten, noe som hjelper til med å opprettholde jevn gasskonsentrasjon og temperatur gjennom hele kvartsbåten.

Laget av høy-renhet smeltet kvarts, tilbyr disse baffelene fremragende termisk stabilitet, utmerket motstand mot kjemisk korrosjon og ekstremt lavt urenhetsinnhold – noe som sikrer rene og kontrollerte prosesseringsmiljøer. Den sandblåste overflaten forbedrer gassspredningsytelsen samtidig som den minimerer partikkeldannelsen. Ved å fremme jevn gasseksponering bidrar disse baffelene til bedre lagjevnhet, reduserte defektrater og høyere prosessutbytte både i produksjonslinjer og FoU-miljøer.

Formål og funksjon med flytutjevningsbaffler i halvlederprosessering

Hva er Flow Equalization-baffles?

Strømningsutjevningsbaffler er presisjonskonstruerte kvartskomponenter installert i diffusjons-, oksidasjons- og CVD-ovner (kjemisk dampavsetning). De leder og fordeler prosessgassene jevnt gjennom ovnskammeret, og forhindrer ujevn gasskonsentrasjon eller temperaturgradienter som kan forårsake defekter eller inkonsekvent doping.

Hvordan fungerer flytutjevnings-baffler?

Bafflene har vanligvis flere små hull eller perforeringer designet for å bryte opp og omfordele gassstrømmene. Denne utjevningen skaper laminær, stabil gassstrøm over skiveoverflaten. Laget av høy-renhet kvarts, motstår bafflene høye temperaturer og korrosive gasser som er vanlige i halvlederprosesser, noe som sikrer holdbarhet og fri for forurensning.

Bruksområder innen halvlederprosessering

Strømningsutjevningsbaffler er kritiske i prosesser som:

• Diffusjon
• Oksidasjon
• Kjemisk dampavsetning (CVD)

De brukes i batchprosesseringsovner hvor flere wafere behandles samtidig, og ensartethet er avgjørende.