Navn:

6-tommers Quartz Boat Series

Funksjon og anvendelse:

Denne serien inkluderer en rekke kvartsbåter, som burbåter, baffelbåter, basebåter og standard waferbåter, designet for å støtte silisiumwafere under høytemperatur-halvlederprosesser som diffusjon, oksidasjon, CVD-deponering og wafer-rengjøring. Disse ulike formene og strukturene optimaliserer gassstrømmen, termisk ensartethet og waferstabilitet på tvers av et bredt spekter av produksjons- og forskningsapplikasjoner.

Ytelseskrav:

Høy renhet smeltet kvartskonstruksjon med utmerket termisk stabilitet, korrosjonsbestandighet og lavt innhold av urenheter. Robust design for å tåle gjentatt termisk syklus. Glatte, polerte eller sandblåste overflater for å minimere partikkeldannelse og forurensning, og sikrer kompatibilitet med automatiserte waferhåndteringssystemer og ulike ovnstyper.