DenBuede platesmeltede silikabåter en høypresisjons waferbærer designet for halvlederapplikasjoner som involverer høytemperatur batchprosessering, som diffusjon, oksidasjon og CVD-avsetning. Produsert av høyrenhet smeltet silika, leverer denne båten eksepsjonell termisk stabilitet, minimal termisk utvidelse og utmerket motstand mot både korrosjon og termisk sjokk.

Den bøyde platestrukturen gir stabil waferstøtte og forbedrer jevn gassstrøm og varmeoverføring inne i ovnrøret. Den glatte, rene overflaten minimerer partikkelgenerering, mens materialets høye optiske gjennomsiktighet støtter visuell inspeksjon ved behov. Designet for jevn waferjustering og lav forurensningsrisiko, oppfyller den smeltede silikabøyde platebåten de strenge kravene til avansert halvlederproduksjon, forskningslaboratorier og pilotlinjer.

Hvorfor kalles den Curved Plate Quartz Boat?

Begrepet "Curved Plate Quartz Boat" kommer både fra materialet og designformen:

Kvarts:Båten er laget av høy-renhet kvarts (smeltet silika), et materiale som er høyt verdsatt i halvlederproduksjon for sin utmerkede termiske stabilitet, kjemiske motstandskraft og lave innhold av urenheter.

Buet plate:I motsetning til flate eller rørformede båter, har dette designet en plate som er bøyd eller buet i en bueform. Denne bøyde (buede) platestrukturen bidrar til å forbedre gassstrømsfordelingen og termisk ensartethet rundt waferne under høytemperaturprosessering. Krumningen gir bedre eksponering av wafere for prosessgasser og jevnere varmefordeling.

Båt:Innen halvlederprosessering er «båt» bransjebetegnelsen for en bærer eller fikstur som holder wafers sikkert under ovns- eller diffusjonsrørprosessering.

Så, «Curved Plate Quartz Boat» betyr bokstavelig talt en kvartsbasert waferbærer med et bøyd (buet) platedesign optimalisert for ensartet waferprosessering i høytemperatur halvlederproduksjon.